▌λ/10000--0.02nm 級(jí)光柵周期解析精度
基于Littrow 自準(zhǔn)式入射結(jié)構(gòu)，系統(tǒng)通過精密調(diào)整入射角與衍射光強(qiáng)反饋，實(shí)現(xiàn)0.02nm 級(jí)光柵周期測(cè)試靈敏度。相較傳統(tǒng)透射電子顯微鏡、原子力顯微鏡分析法，分辨率提升100倍。
▌0.005°--K 矢量高精度測(cè)試
獨(dú)家算法實(shí)時(shí)解算光柵面內(nèi)K 矢量角度，K 矢量精度可達(dá)0.005°，全面監(jiān)測(cè)光柵器件面內(nèi)K矢量異常。某AR 光波導(dǎo)客戶借此將產(chǎn)品調(diào)試周期從48 小時(shí)縮短至6 小時(shí)。
▌支持多種光柵參數(shù)測(cè)試
光柵測(cè)試系統(tǒng)支持多類型光柵測(cè)試，包括：閃耀光柵、反射全息光柵、透射全息光柵和布拉格體全息光柵等。助力VR、AR 行業(yè)客戶。（實(shí)際使用請(qǐng)咨詢）
二、硬核技術(shù)矩陣：實(shí)驗(yàn)室精度，工業(yè)級(jí)可靠性
? 卓立四軸軸微米級(jí)定位系統(tǒng)
位移軸光柵尺反饋，重復(fù)定位精度±3μm，閉環(huán)分辨率：1μm
旋轉(zhuǎn)軸光柵尺反饋，重復(fù)定位精度±0.003°，閉環(huán)分辨率：0.000152°
支持Φ254mm 超大光柵片全域mapping，40s 完成單點(diǎn)測(cè)量，較手動(dòng)調(diào)節(jié)效率提升50 倍。
光柵mapping 結(jié)果
三、從實(shí)驗(yàn)室到產(chǎn)線：全場(chǎng)景解決方案
? 科研模式
開放API 接口，支持自定義測(cè)量Recipe，支持自定義數(shù)據(jù)處理。
? 工業(yè)模式
真空吸附，自動(dòng)上下料，無縫對(duì)接MES/QMS 系統(tǒng)，全自動(dòng)檢測(cè)
四、系統(tǒng)關(guān)鍵參數(shù)一覽表
|
單點(diǎn)周期重復(fù)精度
|
≤0.02nm
|
|
單點(diǎn)周期絕對(duì)精度
|
≤ ±0.1nm
|
|
單點(diǎn)光柵面內(nèi)矢量角絕對(duì)精度
|
≤±0.01°
|
|
單點(diǎn)光柵面內(nèi)矢量角重復(fù)精度
|
≤±0.005°
|
|
單點(diǎn)測(cè)試時(shí)間
|
45s
|
|
可測(cè)光柵類型
|
反/透全息光柵、閃耀光柵、全息體光柵
|
|
可測(cè)光柵尺寸
|
小于 8 英寸（支持定制）
|
13810146393
在線咨詢
